【光明日报】国内首台12英寸卧式炉设备成功发货
来源：PG国际新闻
发布时间：2026年04月09日 编辑：PG国际新闻
随着半导体产业对12英寸晶圆需求的快速增长，核心热处理设备自主发展已成为支撑半导体先进制程高质量发展的关键之一。近日，电科装备旗下中电科红太阳光电公司迎来产业化发展新成果，国内首台12英寸卧式炉设备顺利发往客户现场。该设备的成功研制，标志着国产半导体卧式热处理设备在先进制程领域取得重要突破，为半导体产业链供应链韧性和安全水平提供强力支持。
本次发货的12英寸卧式炉设备精准对标行业先进制程发展趋势，直击行业痛点，重点攻克了卧式炉温场均匀性、流场均匀性、自动化控制及颗粒控制等技术卡点，全面满足了专用卧式炉设备大尺寸晶圆处理、优异温度均匀性及高运行稳定性等产线关键性能要求。同时，该设备率先实现与客户端天车（OHT/AGV）系统的自动化对接，适配半导体领域关键热处理工艺，有效完成设备自动化集成，关键技术指标达国际先进水平，切实保障了大尺寸晶圆高质量生产制造能力。
未来，电科装备将坚持“产业强企”发展战略，集中优势资源攻坚行业关键核心技术，以硬核科技实力护航产业发展，为提升国家战略科技力量、实现高水平科技自立自强筑牢原始创新根基。
